+38 095 820 7848, +38 098 702 5697, order@bookshop.ua Пн-Пт: 10-18.
Нанотехнологии в микроэлектронике.

ID: 18267805

Нанотехнологии в микроэлектронике

  1016.00 грн. -10%

914.40 грн.
35.17 USD

Купить

Отгрузка после 17 января 2020 года


Срок формирования заказа: 7-11 дней 
+ время доставки

Издательство: Наука
2019 г.
ISBN: 978-5-02-040201-0



Все издания этой книги
 

В книге представлены результаты междисциплинарных фундаментальных, поисковых и прикладных научных исследований по разработке технологий получения новых наноматериалов и элементной базы электронных устройств новых поколений информационно-телекоммуникационных систем. Рассмотрены возможности практического применения методов проектирования и изготовления сверхбыстродействующих интегральных элементов СБИС и УБИС, многоосевых микромеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений, устройств нанопьезотроники, микроэлектронной сенсорики, нейроморфных систем и вакуумной микроэлектроники на основе использования перспективных методов нанотехнологии: молекулярно-лучевой эпитаксии, импульсного лазерного осаждения, плазмохимического осаждения из газовой фазы, сканирующей зондовой микроскопии и зондовой нано-литографии, фокусированных ионных пучков, электронно-лучевой обработки, а также перспективных методов планарной технологии поверхностной обработки. Для научных работников и инженеров, специализирующихся в области применения нанотехнологий в микроэлектронике, а также для студентов и аспирантов соответствующего профиля.

Вы посмотрели следующие позиции: 
Время генерации страницы : 0